IEEE Photovoltaic Specialists Conference, IEEE NewYork 2000.) p 99.2000
赤外線カメラによるSiウェーハのライフタイムマッピング
著者: M. Bail, J. Kentsch, R. Brendel, M. Schulz
トピック: carrier lifetime; infrared camera
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FPP-1000は、半導体ウェーハ、薄膜、太陽電池における抵抗率、エミッタシート抵抗、ドーピング密度の精密測定を目的とした手動・接触式の四探針プローブ測定ツールです。業界標準のリファレンス技術として、太陽電池(PV)および半導体R&D分野で広く使用されています。
FPP-1000 四探針測定