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高空間分解能でシリコン太陽電池ウェーハの実効少数キャリアライフタイムτeffをマッピングする高速・非接触方法を提示する。赤外線カメラは、光学的に励起されたフリーキャリアにより誘起された赤外光吸収を測定する。単一のカメラ測定により過剰少数キャリアの面密度マップが得られ、これを実効少数キャリアライフタイムτeffのマップに変換する。赤外線測定結果は、マイクロ波検出光伝導度減衰法や準定常状態光伝導度ライフタイム測定などの確立された技術の結果と一致する。この新しい赤外線ライフタイムマッピング技術は、インラインプロセス制御に十分な高速性を有する。
