画期的な装置と製品：深紫外から中赤外までの分光エリプソメトリーによる原子層堆積Al:ZnO層の一台での調査

Semilab SE-2000分光エリプソメーターは、紫外から近赤外までの広い波長範囲を数秒以内に、中赤外までを数分でカバーする分光エリプソメトリー測定が可能な多用途薄膜特性評価装置です。単層から複雑な多層積層構造およびバルク材料まで、薄膜の特性評価に適しています。本稿では、異なる基板および異なる層構造を持つAlドープZnO層の広波長範囲調査により、SE-2000システムの独自の能力を実証します。Drude分散則へのデータフィッティングを使用して、他の導電層が存在するにもかかわらずAl:ZnOの電気特性を決定しました。結果は、ガラス基板上に成膜された単層Al:ZnOの四探針法測定により裏付けられました。