SE-2000 分光エリプソメトリー

薄膜測定のための新しい前処理法

PVウェーハのエミッタシート抵抗試験のための正確な接触および非接触方法

著者: Ferenc Korsós, Péter Tüttő, Ilias Saegh, Krisztián Kis-Szabó, and Attila Tóth

トピック: 4pp; diffusion; junction photovoltage technique; photovoltaics; process monitoring

アンモニア蒸気誘起による各種基板上のメソポーラスシリカコーティングの二層変換

著者: Lenke Kócs, Borbála Tegze, Emőke Albert, Csaba Major, András Szalai, Bálint Fodor, Péter Basa, György Sáfrán, Zoltán Hórvölgyi

トピック: porous silica coatings; spectroscopic ellipsometry; ELLIPSOMETRIC POROSIMETRY; mesoporous; anti-reflective coatings

不飽和水蒸気を凝縮し水滴を排出する両親媒性ナノポア

著者: Baekmin Q. Kim1†, Zachariah Vicars1†, Máté Füredi2,3, Lilia F. Escobedo1, R. Bharath Venkatesh1‡, Stefan Guldin2,4,5, Amish J. Patel1*, Daeyeon Lee1

トピック: spectroscopic ellipsometry

ミューラー行列透過エリプソメトリーによるマラリア感染副産物の解析

著者: P. Basa, B. Fodor, Zs. Nagy, B. Oyunbolor, A. Hajtman, S. Bordács, I. Kézsmárki, A. Halbritter, Á. Orbán

トピック: ellipsometry; rotating compensator; mueller matrix; spectroscopic ellipsometer

薄膜SiGe:B層におけるメトロロジー技術の組み合わせの利点

著者: D. Le Cunff, T. Nguyen, R. Duru, F. Abbate, J. Hoglund, N. Laurent, F. Pernot, M. Wormington

トピック: Ge-Si alloys; boron; elemental semiconductors; semiconductor doping; semiconductor epitaxial layers

メソ/マクロ多孔質境界を超えて：カスタマイズされた吸着質による薄膜中の毛管凝縮ベースの細孔径特性評価の拡張

著者: Máté Füredi, Cristina V. Manzano, András Marton, Bálint Fodor, Alberto Alvarez-Fernandez,*

トピック: EP

ブロックコポリマー自己組織化ナノポアアレイによる超高感度ラベルフリーDNA検出

著者: Maximiliano Jesus Jara Fornerod, Alberto Alvarez-Fernandez, Máté Füredi, Anandapadmanabhan A Rajendran, Beatriz Prieto-Simón, Nicolas H. Voelcker, Stefan Guldin

トピック: spectroscopic ellipsometry

画期的な装置と製品：深紫外から中赤外までの分光エリプソメトリーによる原子層堆積Al:ZnO層の一台での調査

著者: László Makai, Tero Lehto, Bálint Fodor, Peter King

トピック: doping; Electrical properties; spectroscopic ellipsometry; thin films; atomic layer deposition

半導体ナノ結晶を内蔵した窒化シリコンベース不揮発性メモリ構造の帯電挙動

著者: Zs.J. Horváth, P. Basa, T. Jászi, K.Z. Molnár, A.E. Pap, Gy. Molnár

ランプ照射によるSi表面の洗浄

著者: A. Danel, C.L. Tsai, K. Shanmugasundaram, F. Tardif, E. Kamieniecki, J. Ruzyllo

トピック: Lamp cleaning; Organic contamination; Volatile contaminants; hydrocarbons

ミューラー行列エリプソメトリーを用いたForksheet FETアレイにおける構造非対称性の検出：理論的研究

著者: Balogh Imre, Kiss Roberta Zsófia, Egri Dávid

トピック: spectroscopic ellipsometry

アモルファスインジウムガリウム亜鉛酸化物スパッタ薄膜のプロセス成膜に関するエリプソメトリー研究

著者: C. Talagrand, X. Boddaert, D.G. Selmeczi, C. Defranoux, P. Collot

トピック: InGaZnO; spectroscopic ellipsometry; Dielectric function; Process deposition; Amorphous semiconductor

大型LEDウェーハ向けALDによる均一な透明導電性ZnO:Ga

著者: Homogeneous Transparent Conductive ZnO:Ga by ALD for Large LED Wafers

トピック: GZO; Atomic layer deposition; TCO; Rapid thermal annealing; LED

インクジェット印刷による垂直発光固体有機レーザー

著者: O. Mhibik, S. Ch´enais, S. Forget, Ch. Defranoux, S. Sanaur

トピック: vertically-emitting solid-state organic lasers (VECSOLs); inkjet printing; new host polymer matrix for standard laser dyes; Tunable laser

エリプソメトリックポロシメトリーによるメソポーラスシリカ材料の内部濡れ性調査

著者: Máté Füredi, Bálint Fodor, András Marton, Alberto Alvarez-Fernandez, Aysha ARiaz, Curran Kalha, Anna Regoutz, Stefan Guldin, Péter Basa

トピック: Ellipsometers; ellipsometry; ellipsometry porosimetry; ELLIPSOMETRIC POROSIMETRY; ELLIPSOMETRIC POROSIMETRY (R&D); Mesoporous silica films; Porosimetry; mesoporous

分光エリプソメトリーによる垂直共振器面発光レーザー用途のサブ波長格子構造のモニタリング

著者: Emeric Balogh, Peter Basa, Attila Suto, Benjamin Powell, Anna Bölcskei-Molnár, and Szilvia Biró

トピック: ellipsometry; spectroscopic ellipsometry

遷移金属二硫化物の近赤外光学特性と相変化材料としての有用性の提案

著者: Akshay Singh, Yifei Li, Balint Fodor, Laszlo Makai, Jian Zhou, Haowei Xu, Austin Akey, Ju Li and R. Jaramillo

トピック: ellipsometry; visible spectra; Transmission electron microscopy; Density functional theory; Photonic integrated circuits; Transition metal chalcogenides; Optical metrology; Crystalline solids; Optical electronics

自動アーティファクト最小化法を用いた分光エリプソメトリーデータからの光学特性および層構造の決定について

著者: J. Budai, B. Farkas, Z.L. Horváth, Zs. Geretovszky

トピック: ellipsometry; modelling; Artifact minimization; Numerical inversion

メソポーラスシリカ湿度センサーの合理的設計について

著者: Máté Füredi, Alberto Alvarez-Fernandez, Maximiliano Jesus Jara Fornerod, Bálint Fodor, and Stefan Guldin

トピック: spectroscopic ellipsometry; EP

金属および金属酸化物多層ハイブリッドプラズモニックナノ構造の分光エリプソメトリー

著者: A.A. Khosroabadi, P. Gangopadhyay, B. Cocilovo, L. Makai, P. Basa, B. Duong, J. Thomas, and R.A. Norwood

トピック: spectroscopic ellipsometry

自由液液界面および液気界面の分光エリプソメトリー調査

著者: László Makai, Benjamin Kalas, György Tiborcz

トピック: Ellipsometers; ellipsometry; Interfaces; spectroscopic ellipsometry; Surface; Surface measurement

電気化学的リチウム化における窒化シリコンアノードの構造的進化

著者: Adam J. Lovett*, Máté Füredi, Liam Bird, Samia Said, Brandon Frost, Paul R. Shearing, Stefan Guldin, Thomas S. Miller*

トピック: spectroscopic ellipsometry

分光エリプソメトリーによるSnO2:F/SiCxOy低放射率コーティングの光学的および電気的特性に対するアニーリング効果の研究

著者: K. Wang, B. Cheng, B. Wu, C. Defranoux, P. Basa, C. Song, G. Han, Y. Liu

トピック: spectroscopic ellipsometry; Fluorinated tin oxide; Low emissivity; annealing

Szilicium felületkezelése femtoszekundomos lézerrel（フェムト秒レーザー技術を用いた表面処理）

著者: Windisch M., Buza G., Maloveczky A., Vida Á., Selmeczi D., Dankházi Z.:

トピック: Si surfaces; spectroscopic ellipsometry; surface treatment

In2O3薄膜形成における安定剤濃度の影響

著者: Aysha A. Riaz, Curran Kalha Maria Basso, Máté Füredi, Anna Regoutz

トピック: spectroscopic ellipsometry