金属および金属酸化物多層ハイブリッドプラズモニックナノ構造の分光エリプソメトリー

有効媒質近似を用いて、300〜800 nmの波長範囲における新規な銀（Ag）/インジウムスズ酸化物（ITO）多層ナノピラー構造の光学定数を決定しました。構造は、SEM画像と一致するピラー体積分率42.4%で空気中のインクルージョンとしてモデル化されました。ナノピラーのシミュレーション反射強度は平面参照サンプルのそれよりも大幅に小さく、これは上部有効媒質層の屈折率と空気の屈折率との差が小さいことに起因します。さらに、ナノ構造サンプルの約450 nmにおける反射の最小値は表面プラズモン増強の証拠であり、プラズモニクス応用への適性を示しています。シミュレーションによるブリュースター角はピラー領域で減少しており、より小さな有効屈折率を示しています。