Szilicium felületkezelése femtoszekundomos lézerrel（フェムト秒レーザー技術を用いた表面処理）

フェムト秒レーザーは固体材料の表面処理に非常に適しています。レーザー照射により、表面にさまざまな種類の表面構造を形成できます。本研究では、シリコン単結晶上に形成されたナノメートルおよびマイクロメートルスケールの形態を有するさまざまな表面を、応用可能性とともに紹介します。いくつかの特定の構造を選択し、反射電子回折法およびスペクトロスコピックエリプソメトリーにより構造を決定し、結果をまとめた上で、さらなる調査方法としてマイクロ硬度測定および走査トンネル顕微鏡測定を目標として設定しました。