自由液液界面および液気界面の分光エリプソメトリー調査

エリプソメトリーの能力が広く知られるようになるにつれ、この技術を特殊な材料評価に使用することへの関心が著しく高まっています。過去数十年間、自由液体表面の構造的および光学的特性に関する非破壊・非接触調査の可能性は、化学および生物学の両分野で重要性を増してきました。液体表面での高精度エリプソメトリー測定を行うには、特定の技術的課題を克服する必要があります。

最初の明白な困難は、環境振動の存在に起因するものであり、液体表面が振動して表面波が生じ、反射時に光が散乱されます。2番目の問題は、液体表面が常に水平であるため（水準器参照）、入射面をそれに合わせて調整する必要があることです。

本研究では、アクティブ空気圧式除振台を利用することにより、上記の両問題に対する解決策を提示します。この方法の能力は、高純度蒸留水、グリセロール、およびポリジメチルシロキサン（PDMS）のバルク液体サンプル、ならびに液体基板上の液体層（グリセロール上のPDMS）において実証されました。

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