メソ/マクロ多孔質境界を超えて：カスタマイズされた吸着質による薄膜中の毛管凝縮ベースの細孔径特性評価の拡張

直径50 nmを超えるナノポアを含む薄膜の特性評価は、特に吸着ベースの技術を適用する場合に大きな課題を呈します。従来の体積測定物理吸着法や水銀圧入法は、試料作製および非破壊検査の制約のため、薄膜への適用性が限られています。この点において、エリプソメトリックポロシメトリーは薄膜に対する光学的感度を活用した有効な代替手段です。水などの揮発性化合物の毛管凝縮に依存する既存のセットアップでは、適用可能性は通常50 nm未満の細孔寸法に限定されます。本研究では、2種類の高分子量炭化水素吸着質、すなわちエチルベンゼンおよびn-ノナンを導入します。これらの吸着質は、メソ多孔質を超えた（すなわち、50 nm超の）物理吸着測定の精度向上に大きな可能性を示します。特にn-ノナンにより、適用範囲は80 nmの細孔まで拡張されます。本測定ガイドラインは、多様な構造アーキテクチャへの適応可能性を持つ、ナノポーラス薄膜の非破壊的で迅速（60分未満）、低圧（0.03 bar未満）なアプローチを提案します。

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