自動アーティファクト最小化法を用いた分光エリプソメトリーデータからの光学特性および層構造の決定について

エリプソメトリー解析手法を提案し、シミュレーションおよび測定エリプソメトリーデータに適用しました。数値的に反転された誘電体曲線のKramers-Kronig整合性は、反転された誘電関数に干渉関連構造が存在する場合に失われることが示されています。この観察に基づき、自己整合曲線の二乗平均平方根が、物理的に正しい層構造に属するKramers-Kronig整合的な誘電体関数を見つけるのに適していることが判明しました。さらに、実際のエリプソメトリー測定に典型的な制限された光子エネルギー範囲の影響は、Kramers-Kronig積分誘電関数に積分定数と1つまたは2つのSellmeier振動子（パラメータはフィッティング）を追加することで対処できることが示されています。本手法の限界についても、シミュレーションデータと測定データの両方で議論されています。