RF 플라즈마 처리된 실리콘의 쇼트키 다이오드의 탄도 전자 방출 현미경
저자: L. Quattropani, K. Solt, P. Niedermann, I. Maggio-Aprile, O. Fischer, T. Pavelka
주제: Schottky diode; RF plasma treated silicon

AFM-2000은 학술 연구와 반도체 산업 응용 분야를 위해 설계된 Semilab의 고성능 원자힘 현미경으로 고해상도 아원자 수준의 정밀 측정을 구현합니다. 표면 거칠기 측정과 임계 치수 제어에 이상적이며, 완전 자동화 기능과 함께 200×250mm의 대형 시료 스테이지 이동 범위를 갖춰 R&D와 산업용 품질 관리 모두에 적합합니다.
AFM-2000 원자힘 현미경
저자: L. Quattropani, K. Solt, P. Niedermann, I. Maggio-Aprile, O. Fischer, T. Pavelka
주제: Schottky diode; RF plasma treated silicon
저자: Katalin Csonti, Csilla Fazakas, Kinga Molnár, Imola Wilhelm, István A. Krizbai, Attila G. Végh
주제: adhesion assay; Zeiss AFM; single-cell force spectroscopy
저자: D. Marinskiy, P. Edelman, A.D. Snider
주제: Kelvin force microscopy; corona charge; concentration profile; surface diffusion
저자: Dmitriy Marinskiy, Patrick Polakowski, Jacek Lagowski, Marshall Wilson, Piotr Edelman, Johannes Müller
주제: corona - Kelvin; Non-Contact Measurement; THIN FILM CHARACTERIZATION
저자: P.M. Nagy, D. Aranyi, P. Horváth, G. Pető, E. Kálmán
주제: nanoindentation; Ion Implantation; mechanical properties; AFM
AFM-2000 원자힘 현미경