IEEE Photovoltaic Specialists Conference, IEEE NewYork 2000.) p 99.2000
적외선 카메라를 이용한 Si 웨이퍼의 수명 매핑
저자: M. Bail, J. Kentsch, R. Brendel, M. Schulz
주제: carrier lifetime; infrared camera
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FPP-1006은 반도체 웨이퍼, 박막, 태양전지에서 저항률, 이미터 시트 저항, 도핑 농도를 정밀하게 측정하기 위해 설계된 장비로, 접촉 저항의 영향을 제거하는 6전극 접촉식 프로브를 사용하며, PV 산업 표준 및 반도체 R&D 분야에 적합합니다.
