적외선 카메라를 이용한 Si 웨이퍼의 수명 매핑

저자들은 높은 공간 해상도에서 실리콘 태양전지 웨이퍼의 유효 소수 캐리어 수명(τeff)을 매핑할 수 있는 빠르고 비접촉식 방법을 제시합니다. 적외선 카메라는 광여기에 의해 생성된 자유 캐리어에 의해 유도된 적외선 흡수를 측정합니다. 단일 카메라 측정을 통해 과잉 소수 캐리어의 면밀도 맵을 얻을 수 있으며, 이를 유효 소수 캐리어 수명(τeff) 맵으로 변환합니다. 적외선 측정 결과는 마이크로파 검출 광전도도 감쇠 및 준정상 상태 광전도도 수명 측정과 같은 기존 기법의 결과와 잘 일치합니다. 제안된 적외선 수명 매핑 기법은 인라인 공정 제어에 적용할 수 있을 만큼 충분히 빠릅니다.

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