IEEE Photovoltaic Specialists Conference, IEEE NewYork 2000.) p 99.2000
적외선 카메라를 이용한 Si 웨이퍼의 수명 매핑
저자: M. Bail, J. Kentsch, R. Brendel, M. Schulz
주제: carrier lifetime; infrared camera
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FPP-1000은 반도체 웨이퍼, 박막, 태양전지에서 저항률, 이미터 시트 저항, 도핑 농도를 정밀하게 측정하기 위해 설계된 수동식 접촉형 4점 프로브 측정 장비입니다. 광전(PV) 및 반도체 R&D 분야에서 산업 표준 기준 측정 기법으로 널리 사용됩니다.
FPP-1000 4점 프로브 측정
