서로 다른 베이킹 단계에서의 SU-8 코팅 웨이퍼 나노인덴테이션 분석
저자: Tamás Tarjányi, Gábor Gulyás, Krisztián Bali, Márton Sámi, Rebeka Anna Kiss, Barbara Beiler, Péter Fürjes, Tibor Szabó
주제: nanoindentation; hardness; creep; wafer; SU-8; epoxy

나노인덴테이션은 소량 재료의 정량적 물성 평가에 핵심적인 기술입니다. IND-1000은 탄성 계수, 경도, 파괴 인성 및 점탄성 거동을 포함하여 마이크로에서 나노 규모까지 기계적 특성을 정밀하게 측정하기 위한 고급 나노인덴테이션 시스템입니다.
Fisher-Cripps Laboratories의 검증된 나노인덴테이션 시스템을 기반으로 하는 이 기술은 반도체, 경질 박막, 다상 금속, 세라믹, 고분자 및 생체 재료 등 다양한 재료에 대해 신뢰성 있고 재현성 높은 측정 결과를 제공합니다.
IND-1000 나노인덴테이션
저자: Tamás Tarjányi, Gábor Gulyás, Krisztián Bali, Márton Sámi, Rebeka Anna Kiss, Barbara Beiler, Péter Fürjes, Tibor Szabó
주제: nanoindentation; hardness; creep; wafer; SU-8; epoxy
저자: P. M. Nagy, P. Horvath, G. Peto, E. Kalman
주제: Atomic Force Microscope (AFM); Ion Implantation; nanoindentation; Phase Transformation of Si; Pile-Up; Pop-In; Surface Modification
저자: DR. JAKAB ANDRÁS, DR. VÁNKAY KATA LILLA, DR. TARJÁNYI TAMÁS, GULYÁS GÁBOR, BALI KRISZTIÁN DÉZSI PÁL PATRIK, SÁMI MÁRTON DR. FRÁTER MÁRK
주제: nanoindentation
IND-1000 나노인덴테이션