이 비접촉식, 비파괴 시스템은 최대 직경 200mm의 화합물 반도체 웨이퍼에서 전하 캐리어 이동도와 시트 저항을 특성화하기 위해 설계되었습니다. RF 반사 측정과 영구 자석을 결합하여 이동도를 측정하고, Eddy Probe 기술을 활용하여 시트 저항을 분석합니다. 높은 처리량과 웨이퍼 전면 매핑 기능을 통해 반도체 제조 및 R&D에 필수적인 균일도 분석을 제공합니다.
Lehighton-2000M 시트 저항 및 이동도 측정
저자: Eric Tucker, Frank Ramos, Samuel Frey, Robert J. Hillard, Péter Horváth, Gyula Zsákai, Attila Márton
주제: dielectric characterization; dielectric charge; MERCURY C-V PROFILING; 2DEG sheet charge; pinch-off voltage; mercury gate
저자: Ferenc Korsós, Géza László, Péter Tüttő, Sebastien Dubois, Nicolas Enjalbert, Krisztián Kis-Szabó, Attila Tóth
주제: Characterisation; inversion layer sheet resistance; junction photovoltage technique; Non-contact; PV; SHEET RESISTANCE MEASUREMENT
저자: András Bojtor, Gábor Paráda, Péter Tüttő, Hajnalka Korka, Kinga Szőke, Ferenc Korsós
주제: Hall effect measurements; photoconductivity; IGZO ELECTRICAL CHARACTERIZATION; PDL Hall
저자: Dávid Krisztián, Ferenc Korsós, Gergely Havasi
주제: carrier lifetime; Carrier mobility; Charge carriers; concentration profile; lifetime measurements; photoconductive decay; silicon solar cells
