광범위한 반도체 재료에 적용 가능한 광전도 감쇠 측정용 다목적 시스템

시간 분해 광전도성은 광범위한 반도체에서 비평형 전하 캐리어 수명, 불순물 함량 및 태양전지 효율을 특성화하는 데 널리 사용됩니다. 대부분의 측정은 단일 주파수 및 단일 광여기 광 파장에서 전자기 복사의 반사를 감지하는 것으로 제한됩니다. 본 연구에서는 광대역 주파수 검출(기본적으로 DC~100GHz), 온도 의존 측정, 그리고 다중 여기 광자 에너지를 가능하게 하는 시간 분해 광전도 장비를 제시합니다. 측정은 효율적인 안테나로 작용하며 10MHz~10GHz 범위에서 성능이 검증된 동일 평면 도파관을 이용하여 구현됩니다. 본 장비는 표면 및 벌크 전하 재결합과 관련된 개별 공정들을 연구할 수 있도록 합니다.