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Seminlab SE-2000 분광 타원편광계는 분광 타원편광법을 수행할 수 있는 다목적 박막 특성 분석 장비로, 수 초 내에 자외선부터 근적외선까지의 넓은 분광 범위를 커버하며, 수 분 내에는 중적외선 영역까지 측정이 가능합니다. 단층부터 복잡한 다층 적층 구조 및 벌크 재료에 이르기까지 다양한 박막 특성 분석에 적합합니다. 이 논문에서는 다양한 기판과 서로 다른 층 구조를 갖는 Al 도핑된 ZnO 층에 대한 광범위한 스펙트럼 범위 분석을 수행함으로써 SE-2000 시스템의 고유한 성능을 입증합니다. Drude 분산 법칙에 맞는 데이터를 사용하여 다른 전도성 층이 존재함에도 불구하고 Al:ZnO의 전기적 특성을 도출하였습니다. 또한, 유리 기판에 단일 Al:ZnO 층을 증착한 시료에 대해 4-포인트 프로브 측정을 수행하여 얻어진 결과를 검증하였습니다.
