고전력 소자에 사용되는 고저항률 실리콘의 캐리어 수명 제어 및 특성화

고전력 장치에는 높은 항복 전압을 달성하기 위해 저항률이 높은 두꺼운 실리콘 층이 필요합니다. 이러한 장치의 켜기 및 끄기 동작을 최적화하려면 공정 파라미터 및 작동 파라미터(예: 온도 및 주입 수준) 따른 수명 의존성에 대한 이해가 요구됩니다. 이에 따라 초기 재료(FZ 성장 실리콘)와 전이 금속(Pt, Au, Fe)으로 도핑되거나 전자 또는 경이온 조사 처리를 거친 소자에 대해, 광전도 및 자유 전하 흡수 측정에 기반한 두 가지 측정 기법을 이용하여 캐리어 수명을 분석합니다.