다양한 레이저 소스로 준비된 레이저 텍스처링 실리콘 표면 비교

다양한 파장, 펄스 길이 및 강도를 지닌 4가지 레이저를 레이저 어블레이션에 적용하여 레이저 텍스처링된 '검은색' 실리콘 표면을 만들었습니다. 목표는 서로 다른 레이저로 구조화된 시료의 광학적 특성을 비교하여 최적의 구성을 찾고 광전지 응용 분야에 대한 실행 가능성을 조사하는 것입니다. 이 첫 번째 단계에서는 4가지 구성에 의해 생성된 현저히 다른 표면 형태의 변화를 주사 전자 현미경으로 관찰하고, 동시에 그 결과로 얻어진 표면 반사율의 특성도 함께 분석합니다. 레이저 어블레이션 공정과 관련된 기본 물리적 메커니즘을 논의하여, 결과로 얻어진 구조의 형태를 설명합니다. 표면 형태와 반사율 변화의 추세를 바탕으로 충분한 반사 방지 특성을 얻는 데 필요한 최소한의 레이저 조사 횟수가 결정되었습니다. 서브 피코초 엑시머 레이저를 이용해 수십 회의 펄스로 표면을 텍스처링함으로써, 가시광 및 근적외선 영역에서 약 2%의 총 반사율이 달성되었습니다.