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SiO2 및 HfO2 게이트 유전체를 갖는 Si 기판에서 반전 전하 캐리어의 이동도를 결정하는 방법이 제시되어 있습니다. 이는 코로나 전하와 전하 확산 계측을 결합한 완전 비접촉식 방법입니다. [특허 출원 번호 EP 07118673 및 U.S. 60940594.] 이러한 측정을 통해 반전 전하 캐리어의 이동도가 유효 전기장의 함수로 계산될 수 있음이 입증되었습니다. 그 결과로 얻어진 이동도 곡선은 트랜지스터에서 관찰되는 결과와 비교 가능함을 보입니다.
