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수명 측정을 통한 p형 실리콘의 금속 불순물 식별 가능성
게시 위치:
J. Electrochem. Soc., 143, No. 1, 216-220
년도:
1996
저자:
T.S. Horányi, P. Tüttő, Cs. Kovacsics
oxidation
Silicon (Si)
temperature
nitrogen compounds
oxygen compounds
quartz
surface treatment
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