화학적으로 패시베이션된 표면을 가진 실리콘의 현장 벌크 수명 측정

기존의 광전도 감쇠 수명 측정 기술은 현장의 화학적 표면 패시베이션을 적용하여 전체 실리콘 웨이퍼에 대한 벌크 수명 맵 측정으로 확장되었습니다. 이 기술의 적용 가능성은 산화된 표면과 화학적으로 패시베이션된 표면을 기반으로 한 수명 맵을 비교하고, 재결합 중심 농도와 소수 캐리어 수명 간의 선형 상관관계를 비교함으로써 입증됩니다.

‍