POCl₃ 확산 공정을 통한 저수명 실리콘 웨이퍼의 활용

본 연구에서는 산업용 대량 생산 적용 가능성을 고려하여 저품질 실리콘 소재의 변환 효율 향상을 위한 POCl₃ 확산 공정을 최적화하였습니다. 이에 따라 분석 범위는 단일 공정 단계에서의 이미터 확산으로 제한하였습니다. 또한 표준 스크린 프린팅 공정에서 접촉 가능한 이미터 프로파일만을 고려하였습니다. 확산 이후 측정된 캐리어 수명과 태양전지 효율 간에 강한 상관관계가 관찰되었습니다. 확산 온도는 캐리어 수명 향상을 위한 주요 공정 파라미터로 확인되었습니다. 확산 온도를 60°C 낮출 경우 저품질 실리콘 웨이퍼로 제작된 셀의 변환 효율이 약 3% 상대적으로 향상되는 것으로 나타났습니다.

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