캐리어 수명 측정 기법을 이용한 p형 실리콘에서의 구리 측정

p형 Si에서 구리 석출물의 재결합 활성 평가를 위해 SPV 기법과 μ-PCD 기법을 비교하였습니다. 구리 석출물은 상온에서의 광조사를 통해 실리콘 벌크 내에 형성되었습니다. SPV로 측정된 구리 석출물의 재결합 활성은 μ-PCD 기법으로 측정된 값보다 더 높은 것으로 관찰되었습니다. 그러나 구리 검출 감도는 SPV와 μ-PCD 기법 간에 유사한 수준인 것으로 판단됩니다.

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