제품 정보 및 가격 문의
연구 요구에 맞춘 전문가 상담과 맞춤형 솔루션을 받아보세요
본 연구에서는 디커플드 플라즈마 질화(DPN)가 적용된 HfSiOx에 대한 코로나 전하 측정의 평가 및 해석을 제시합니다. 등가 산화막 두께(EOT), 계면 상태 밀도(Dit) 및 포화 표면 전압(Vsat)과 같은 대표적인 코로나 전하 파라미터를 평가하였습니다. 특히 Dit와 Vsat는 DPN 공정 파라미터와 양호한 정확도로 상관관계를 보이며, 질화 공정 모니터링에 유망한 파라미터임을 확인하였습니다. 또한 직접 터널링 모델을 이용하여 관찰된 Vsat의 거동에 대한 기초적인 설명을 제시합니다.
