NIST 추적 가능한 소신호 표면 광전압 기준 웨이퍼

소신호 표면 광전압(SPV) 측정은 에피택셜 웨이퍼 및 초크랄스키 웨이퍼의 저항률을 측정하는 데 널리 인정된 측정 기술로 자리잡았습니다. 그러나 이 측정 기술에 대해서는 현재 미국 국립표준기술연구소(NIST)에서 정의한 표준 기준 물질(SRM®)이 존재하지 않습니다. 본 논문에서는 NIST 100 mm 직경 실리콘 저항률 표준 웨이퍼(SRM 2543)를 추가 공정하여 SPV 측정을 위한 NIST 추적 가능한 기준을 생성하는 방법을 제시합니다.