DLS-1100은 반도체 R&D 및 생산 환경을 위해 설계된 고급 DLTS 시스템입니다. 정밀한 온도 제어를 위한 외부 크라이오스탯을 갖추고 있어 최고 수준의 감도, 완전 자동화, 고급 사용자 설정 기능을 제공하므로 생산 실험실, 파운드리, 처리량이 많은 연구 시설에 이상적입니다.
DLS-1100 심층 과도 분광법
저자: H-J. Schulze, A. Frohnmeyer, F-J. Niedernostheide, B. Simmnacher, B.O. Kolbesen, P. Tüttő, T. Pavelka, G. Wachutka
주제: transition metals; contamination; carrier lifetime; silicon defect density
저자: L. Quattropani, K. Solt, P. Niedermann, I. Maggio-Aprile, O. Fischer, T. Pavelka
주제: Schottky diode; RF plasma treated silicon
저자: C.A. Londos, T. Pavelka
주제: DLTS; GaAs
저자: D.A. Ramappa, W.B. Henley
주제: diffusion; iron; silicon dioxide
저자: Homogeneous Transparent Conductive ZnO:Ga by ALD for Large LED Wafers
주제: GZO; Atomic layer deposition; TCO; Rapid thermal annealing; LED
저자: T. Pavelka and G. Ferenczi
주제: Thermal emission; deep trap
저자: B. Sandhu, T. Ogikubo, H. Goto, V. Csapó, T. Pavelka
주제: DLTS; SIRM; Silicon (Si); Mo; Fe; deep levels; carrier lifetime
저자: A. Bertuch, K. Steeples
주제: NIST traceable; surface photovoltage; standard; reference wafer; Electric measurements; Electrical resistivity; Metrology; Epitaxy; Silicon (Si)
저자: Zsolt Kovács, Csanád Ö. Boros, Teodóra N. Kovács, Zsolt Kovács, ZoltánT. Kiss
주제: optical inspection; Silicon (Si); POLARIZED INFRARED IMAGING; VISUAL INSPECTION
저자: T. Pavelka and B. Hemm
주제: Microwave Absorption Spectroscopy
저자: O. Engström, M.Kaniewska, W.Jung, M.Kaczmarczyk
주제: Deep level transient spectroscopy; quantum dots; tunneling; conduction bands; electric field
