퀴논하이드론/에탄올 처리에 의한 실리콘 기판의 표면 패시베이션 효과

퀴논하이드론/에탄올 처리를 이용한 실리콘 기판의 표면 패시베이션 기법이 연구되었습니다. 표면 패시베이션 효과를 평가하기 위해 마이크로파 광전도 감쇠 방법을 사용하여 실리콘 기판의 수명을 측정했습니다. 측정된 수명은 퀴논하이드론 농도와 패시베이션 시간에 따라 달라졌습니다. 0.01 mol/dm³ 농도의 퀴논하이드론/에탄올 처리는 우수한 패시베이션 효과를 나타냈으며, 매우 낮은 표면 재결합 속도가 얻어졌습니다. 퀴논하이드론/에탄올 처리는 아이오딘/에탄올 처리보다 더 효과적인 패시베이션 기법으로 확인되었습니다. 따라서 퀴논하이드론/에탄올 패시베이션은 수명 측정에 널리 활용될 수 있습니다.

‍