Materials Science and Engineering, B41989
半導體深能階的色散微波瞬態光譜
作者: D. Huber, P. Eichinger, G. Ferenczi, T. Pavelka, G. Veszely
主題: Microwave transient spectroscopy; deep levels; semiconductor
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COREMA-2000系列提供精確、非破壞性且非接觸式的電阻率量測解決方案,主要專為碳化矽 (SiC)、氮化鎵 (GaN)、砷化鎵 (GaAs)、碲化鎘 (CdTe)、氧化鎵 (GaO) 與磷化銦 (InP) 等半絕緣化合物半導體所設計。其具備高精確度與高重複性,可完美支援研究單位與工業半導體製造環境。
COREMA-2000 非接觸式電阻率分布量測儀