Nanoindentation Analysis of SU-8 Coated Wafers at Different Baking Phases
作者: Tamás Tarjányi, Gábor Gulyás, Krisztián Bali, Márton Sámi, Rebeka Anna Kiss, Barbara Beiler, Péter Fürjes, Tibor Szabó
主題: nanoindentation; hardness; creep; wafer; SU-8; epoxy

