突破性儀器與產品：在一台儀器中透過橢圓偏振光譜法研究原子層沉積的 Al:ZnO 層（從深紫外線到中紅外線）

Semilab SE-2000 光譜橢圓偏振儀是一款多功能薄膜表徵儀器，能夠在幾秒鐘內進行光譜橢圓偏振測量，覆蓋從紫外線到近紅外線的大光譜範圍，並在幾分鐘內覆蓋中紅外線。 它適用於表徵從單層到複雜的多層層壓板和散裝材料的薄膜。 本文透過對不同基底和不同層結構上的 Al 摻雜 ZnO 層進行寬光譜範圍研究，展示了 SE-2000 系統的獨特功能。 儘管存在其他導電層，但使用符合德魯德色散定律的數據，確定了 Al:ZnO 的電氣性能。 結果透過玻璃基板上沉積的單一 Al:ZnO 層的四點探針測量得到證實。