COCOS（半導體電暈氧化物表徵）柵極電介質非接觸式計量

COCOS 計量技術能夠以非接觸方式快速監控所有晶圓尺寸（包括 300mm）的閘極電介質。 這種方法是在過去五年中開發出來的，並且已經在許多微電子生產線中實施。 此方法使用空氣中的電暈充電將電荷沉積在電介質上，從而改變電介質和半導體中的電場。 在黑暗和強光照下，利用接觸電位差 VCPD 以非接觸方式測量反應。