離子注入矽的奈米力學性能

由於壓力誘導矽相變引起的異常載荷效應，單晶矽樣品的奈米力學性能近年來受到廣泛關注。 為了進一步闡明這一現象，透過奈米壓痕實驗和原子力顯微鏡 (AFM) 對塊體、離子注入的單晶矽樣品進行了研究。 採用40KeV能量的P離子對矽片進行注入，影響矽材料表面淺層的缺陷密度與結構。 我們的實驗對樣品的楊氏模量和硬度（用伯科維奇壓頭、球角壓頭和立方角壓頭測量）提供了一致的評估，壓痕過程中彈出和彈出效應的統計數據，以及有關矽材料堆積行為的有趣結果。 在循環壓痕實驗中也透過計算負載曲線中磁滯迴線的面積來評估樣品的塑性功。 版權所有 © 2008 約翰威利公司Sons有限公司

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