NIST 可追蹤小訊號表面光電壓參考晶圓

小訊號表面光電壓 (SPV) 測量已成為廣泛接受的測量外延和直拉晶片電阻率的計量方法。 對於這種計量技術，目前沒有美國國家標準與技術研究院 (NIST) 定義的標準參考材料 (SRM®)。 本文將介紹一種透過進一步處理 NIST 100 毫米直徑矽電阻率 SRM 2543 晶圓來創建 SPV 測量 NIST 可追溯標準的方法。