DLS-1100 是一款專為半導體研發與生產環境設計的高階 DLTS 系統。 其具備用於精確溫度控制的外接低溫恆溫器，並提供頂級的靈敏度、全自動化與進階客製化功能，為生產實驗室、晶圓代工廠與高通量研究設施的理想選擇。
DLS-1100 深階暫態光譜儀
作者: H-J. Schulze, A. Frohnmeyer, F-J. Niedernostheide, B. Simmnacher, B.O. Kolbesen, P. Tüttő, T. Pavelka, G. Wachutka
主題: transition metals; contamination; carrier lifetime; silicon defect density
作者: L. Quattropani, K. Solt, P. Niedermann, I. Maggio-Aprile, O. Fischer, T. Pavelka
主題: Schottky diode; RF plasma treated silicon
作者: C.A. Londos, T. Pavelka
主題: DLTS; GaAs
作者: D.A. Ramappa, W.B. Henley
主題: diffusion; iron; silicon dioxide
作者: Homogeneous Transparent Conductive ZnO:Ga by ALD for Large LED Wafers
主題: GZO; Atomic layer deposition; TCO; Rapid thermal annealing; LED
作者: T. Pavelka and G. Ferenczi
主題: Thermal emission; deep trap
作者: B. Sandhu, T. Ogikubo, H. Goto, V. Csapó, T. Pavelka
主題: DLTS; SIRM; Silicon (Si); Mo; Fe; deep levels; carrier lifetime
作者: A. Bertuch, K. Steeples
主題: NIST traceable; surface photovoltage; standard; reference wafer; Electric measurements; Electrical resistivity; Metrology; Epitaxy; Silicon (Si)
作者: Zsolt Kovács, Csanád Ö. Boros, Teodóra N. Kovács, Zsolt Kovács, ZoltánT. Kiss
主題: optical inspection; Silicon (Si); POLARIZED INFRARED IMAGING; VISUAL INSPECTION
作者: T. Pavelka and B. Hemm
主題: Microwave Absorption Spectroscopy
作者: O. Engström, M.Kaniewska, W.Jung, M.Kaczmarczyk
主題: Deep level transient spectroscopy; quantum dots; tunneling; conduction bands; electric field
