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我們報告了使用傅立葉變換深能階瞬態光譜 (FT-DLTS) 和掃描紅外線顯微鏡 (SIRM) 等實驗技術研究的釷 (Mo) 擴散矽的特性。 使用硼摻雜浮區 (1 0 0)Si 晶片 (100–400 Ω cm) 製備樣品，透過將 Mo 粉末放置在 Si 表面 上並在真空 (8×10Ev+0.29 eV)。 SIRM 影像顯示，在表面區域附近存在密度為 2.3×107–5.8×109 cm−3 的 Mo 相關析出物，以及密度為 1.2×10778，深度為 30 μm。研究發現，沉澱物尺寸與擴散溫度密切相關，根據散射少數載流子壽命隨著">鐵密度增加的鐵質陷阱增加而縮短的鐵陷阱。
