使用自動偽影最小化方法從光譜橢偏資料確定光學性質和層結構

提出了一種橢圓測量分析方法，並將其應用於模擬和測量的橢圓測量數據。 結果表明，如果反演介電函數中存在幹擾相關結構，則數值反演均方根適用於找到Kramers-Kronig一致的光子能量範圍的影響（典型的現實生活橢圓測量）可以透過向 Kramers-Kronig 整合介電函數。也討論了該方法在模擬和測量數據上的局限性。