使用自动伪影最小化方法从光谱椭偏数据确定光学性质和层结构

提出了一种椭圆测量分析方法，并将其应用于模拟和测量的椭圆测量数据。 结果表明，如果反演介电函数中存在干扰相关结构，则数值反演介电曲线的 Kramers-Kronig 一致性就会丢失。 基于这一观察，发现自一致性曲线的均方根适合找到Kramers-Kronig一致的介电函数，该函数属于物理上正确的层结构。 此外，结果表明，限制光子能量范围的影响（典型的现实生活椭圆测量）可以通过向 Kramers-Kronig 集成介电函数。 还讨论了该方法在模拟和测量数据上的局限性。