異なるベーキング段階におけるSU-8コーティングウェーハのナノインデンテーション分析
著者: Tamás Tarjányi, Gábor Gulyás, Krisztián Bali, Márton Sámi, Rebeka Anna Kiss, Barbara Beiler, Péter Fürjes, Tibor Szabó
トピック: nanoindentation; hardness; creep; wafer; SU-8; epoxy

ナノインデンテーションは、微小体積材料の定量的特性を解明する上で重要な技術です。IND-1000は、弾性率、硬度、破壊靭性、粘弾性挙動を含む、マイクロからナノスケールでの精密な機械的特性測定のための先進的なナノインデンテーションシステムです。
Fisher-Cripps Laboratoriesの実績あるナノインデンテーションシステムに基づき、半導体、硬質薄膜、多相金属、セラミックスからポリマー、バイオマテリアルまで、多様な材料にわたって堅牢で再現性の高い結果を保証します。
IND-1000 ナノインデンテーション
著者: Tamás Tarjányi, Gábor Gulyás, Krisztián Bali, Márton Sámi, Rebeka Anna Kiss, Barbara Beiler, Péter Fürjes, Tibor Szabó
トピック: nanoindentation; hardness; creep; wafer; SU-8; epoxy
著者: P. M. Nagy, P. Horvath, G. Peto, E. Kalman
トピック: Atomic Force Microscope (AFM); Ion Implantation; nanoindentation; Phase Transformation of Si; Pile-Up; Pop-In; Surface Modification
著者: DR. JAKAB ANDRÁS, DR. VÁNKAY KATA LILLA, DR. TARJÁNYI TAMÁS, GULYÁS GÁBOR, BALI KRISZTIÁN DÉZSI PÁL PATRIK, SÁMI MÁRTON DR. FRÁTER MÁRK
トピック: nanoindentation
IND-1000 ナノインデンテーション