SRP-2100 / SRP-2100i 확산 저항 프로파일링

SRP-2100 시리즈는 반도체 웨이퍼의 고정밀 확산 저항 프로파일링(SRP) 및 도펀트 농도 분석을 위한 Semilab의 주력 솔루션입니다. 실리콘 및 화합물 반도체(PCIV 옵션 포함)에 적합하며 공정 모니터링, 오류 분석 및 장치 특성화를 위한 완전 자동화되고 정확한 깊이 프로파일링을 제공합니다.