스퍼터링으로 증착된 비정질 인듐 갈륨 아연 산화물 박막의 공정 증착에 대한 타원편광법 연구

본 논문은 분광 타원편광법을 통한 InGaZnO 광학 연구에 대해 보고합니다. 먼저, 다양한 모델과 다양한 구조의 피팅 결과를 분석하여 가장 적합한 모델을 선택합니다. Tauc–Lorentz 모델은 두께 측정에 적합하지만 더 복잡한 모델을 사용하면 굴절률 및 소광 계수를 더 정확하게 추출할 수 있습니다. 다음으로, 안정성, 증착 시간 및 균일성의 영향을 조사하기 위해 다양한 InGaZnO 공정 증착이 수행됩니다. 박막은 시간이 지나도 만족스러운 광학적 안정성을 나타냅니다. 증착 시간의 함수로서 InGaZnO 광학 특성 변화는 온도 상승과 관련이 있습니다. 균일성의 거동을 이해하기 위해 매핑 측정 결과를 박막 저항률과 상관 분석합니다. 결과는 온도와 재스퍼터링이 IGZO 균일성에 영향을 미치는 두 가지 현상임을 보여줍니다.