자동 아티팩트 최소화 방법을 이용한 분광 타원계측 데이터로부터의 광학 상수 및 층 구조 결정

타원계측 분석 방법을 제시하고 시뮬레이션 및 측정된 타원체 데이터에 적용합니다. 반전된 유전율 곡선의 Kramers-Kronig 일관성은 반전된 유전체 함수에 간섭 관련 구조가 존재하는 경우 손실되는 것으로 나타났습니다. 이 관찰을 바탕으로, 자기 일관성 곡선의 제곱평균근은 물리적으로 올바른 층 구조에 속하는 Kramers–Kronig 일관성 유전 함수를 찾는 데 적합한 것으로 밝혀졌습니다. 또한 실제 타원 측정 측정에 일반적으로 나타나는 제한된 광자 에너지 범위의 효과는 적분 상수와 파라미터가 맞는 하나 또는 두 개의 Sellmeier 발진기를 Kramers–Kronig 적분 유전 함수에 추가함으로써 처리할 수 있음을 보여줍니다. 시뮬레이션된 데이터와 측정된 데이터 모두에 대한 방법의 한계도 논의됩니다.