microPL, JPV, photo-modulated reflectance2023
離子通道和共注入對 Si 中離子範圍和損傷的影響:使用 PL、SRP、SIMS 和 MC 模型的研究
作者: Samu Viktor, Kerekes Árpád, Pongrácz Anita, Durkó Zsolt
主題: microPL; JPV; photo-modulated reflectance
閱讀文獻

SRP-170 是一款具備高性價比的擴散電阻分析儀,專為矽半導體之摻雜濃度與電阻率剖面分析而設計。本系統採用手動進樣與專家導引操作模式,提供可靠的性能表現,是大學、研究機構及小規模分析實驗室的理想選擇。此外,隨機附贈樣品製備工具包,方便使用者在實驗室內自行完成樣品前處理。
SRP-170 擴散電阻分析儀
作者: Samu Viktor, Kerekes Árpád, Pongrácz Anita, Durkó Zsolt
主題: microPL; JPV; photo-modulated reflectance
作者: E. E. Najbauer, L. Sinkó, Sz. Biró, Z. Durkó, P. Basa
主題: carrier density; epitaxial layer; semiconductor; Silicon (Si); SRP-2100; SRP; FTIR REFLECTOMETRY
SRP-170 擴散電阻分析儀