microPL, JPV, photo-modulated reflectance2023
離子通道和共注入對 Si 中離子範圍和損傷的影響：使用 PL、SRP、SIMS 和 MC 模型的研究
作者: Samu Viktor, Kerekes Árpád, Pongrácz Anita, Durkó Zsolt
主題: microPL; JPV; photo-modulated reflectance
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SRP-2100 系列是 Semilab 的旗艦級解決方案，專為半導體晶圓提供高精度的擴散電阻剖面分析與摻雜濃度分析。本系列不僅適用於矽，亦可透過 PCIV 選配擴充至化合物半導體量測，其具備全自動化功能，能提供精確的深度剖面分析，廣泛應用於製程監測、失效分析與元件特性表徵。
SRP-2100 / SRP-2100i 擴散電阻分析儀
作者: Samu Viktor, Kerekes Árpád, Pongrácz Anita, Durkó Zsolt
主題: microPL; JPV; photo-modulated reflectance
作者: E. E. Najbauer, L. Sinkó, Sz. Biró, Z. Durkó, P. Basa
主題: carrier density; epitaxial layer; semiconductor; Silicon (Si); SRP-2100; SRP; FTIR REFLECTOMETRY
SRP-2100 / SRP-2100i 擴散電阻分析儀
