DLS-83D는 반도체 웨이퍼 내 전기적으로 활성화된 결함(심층 준위 트랩) 및 불순물의 고감도 특성 분석 및 식별을 위해 설계된 컴팩트한 탁상형 심층 과도 분광법(Deep Level Transient Spectroscopy, DLTS) 시스템입니다. 대학, 재료 과학 연구소, 첨단 R&D 연구실에 적합하며, 소형 설치 면적에서 정밀하고 신뢰성 높은 측정을 제공합니다.
DLS-83D 심층 과도 분광법
저자: Mikio Fukuhara, Tomonori Yokotsuka, Tetsuo Samoto, Masahiko Kumadaki, Mitsuhiro Takeda, Toshiyuki Hashida
주제: Hall effect measurements; Materials science; Organic contamination; semiconductor; semiconductor materials; Semiconductor Devices; NANO HARDNESS; PDL Hall
저자: H-J. Schulze, A. Frohnmeyer, F-J. Niedernostheide, B. Simmnacher, B.O. Kolbesen, P. Tüttő, T. Pavelka, G. Wachutka
주제: transition metals; contamination; carrier lifetime; silicon defect density
저자: L. Quattropani, K. Solt, P. Niedermann, I. Maggio-Aprile, O. Fischer, T. Pavelka
주제: Schottky diode; RF plasma treated silicon
저자: M. Wilson, J. Lagowski, L. Jastrzebski, A. Savtchouk, V. Faifer
주제: COCOS; Dielectrics; Semiconductor device characterization; Dielectric thin films; Electric measurements; Contact potential
저자: D.K. Schröder
주제: Silicon (Si); Electric measurements; Metal–insulator–semiconductor structures; Surface and interface states; Contact potential; Work function; Epitaxial silicon
저자: C.A. Londos, T. Pavelka
주제: DLTS; GaAs
저자: D.A. Ramappa, W.B. Henley
주제: diffusion; iron; silicon dioxide
저자: D. Huber, P. Eichinger, G. Ferenczi, T. Pavelka, G. Veszely
주제: Microwave transient spectroscopy; deep levels; semiconductor
저자: T. Pavelka and G. Ferenczi
주제: Thermal emission; deep trap
저자: B. Sandhu, T. Ogikubo, H. Goto, V. Csapó, T. Pavelka
주제: DLTS; SIRM; Silicon (Si); Mo; Fe; deep levels; carrier lifetime
저자: T. Pavelka and B. Hemm
주제: Microwave Absorption Spectroscopy
저자: O. Engström, M.Kaniewska, W.Jung, M.Kaczmarczyk
주제: Deep level transient spectroscopy; quantum dots; tunneling; conduction bands; electric field
